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工业空气过滤器在半导体企业的应用

发布时间:2024-03-13 07:52

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  工业空气过滤器在半导体企业的应用

  半导体厂对生产环境洁净程度非常挑剔,对空气过滤器的要求也越来越苛刻,而在半导体厂,半导体厂用空气过滤器起着非常重要的作用,是不可缺少的,下面由北方滤器为大家讲解工业空气过滤器在半导体企业的应用:

工业空气过滤器

  空气中海盐粒子是所有电子工业的大敌,但空气中海盐粉尘颗粒比较大,普通过滤器就能将其过滤掉。有人说搞电子工业理想地点应该远离海岸,可沿海地区经济发达,芯片厂一窝蜂似的就建在了沿海地区,在过滤器上多花点钱就是了。

  活性炭过滤器过滤等级技术可以将洁净室的粉尘浓度降到近乎为零,你想要多干净都能达到。当芯片上的线宽小到0.5mm时,人们发现空气中的化学污染物成了影响成品率的主要危害,于是,在线宽小于0.5mm的芯片厂空调系统中普遍配置了精密空气过滤器。精密空气过滤器的原理和制造工艺并不复杂,它就是活性炭过滤器,但传统的活性炭过滤器制造厂和军工厂没有搭上芯片厂这班车,芯片厂的深圳活性炭过滤器大都是空调过滤器的制造厂家提供的。

  化学污染物的来源可能是:室外空气、工艺本身、人、装修材料。多数情况下,设计师和现场人员也说不清污染物的种类和浓度,因此,为他们提供的化学过滤器至少应具有两个特点:广谱吸附性能、足够多的活性炭材料。所谓广谱吸附就是对什么都能多少吸附些,能有这种功能的就是普通、便宜的颗粒活性炭。如果能确定污染物种类,就可以对活性炭材料进行有针对性的化学处理,以增强对特定污染物的吸附能力。过滤器供应商有时还要提供相应的现场检测服务,以帮助用户确定反渗透过滤器的使用情况,这就要求供应商中有搞化学过滤的有经验的人,并与名气大的化学实验室有密切的关系。

  半导体工业并不是人们普遍认为的“无烟工业”,也就是说它也是有环境问题的,稍不小心就会造成严重的化学污染。因此,为了保险起见,半导体厂一般都会使用空气过滤器。

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更新时间:2024-03-13 07:52

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